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半導體設備 / Product Center
全自動晶圓減薄機
全自動晶圓減薄機

[ 設備介紹 ]

● 用于300mm晶圓背面磨削減薄

● 兩個砂輪軸,無需更換砂輪即可完成粗磨和精磨加工

[ 主要特點 ]

● 全自動完成取片、定心、浸潤、粗磨、精磨、卸片、清洗干燥、裝片工序

● 具有自動測厚補償、砂輪自動對刀等功能

● 砂輪主軸和工件主軸均采用高精度高剛度空氣靜壓軸承

● 人機用戶控制畫面可同步顯示加工狀況和設備狀態

產品詳情

 

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